28.04.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

  • Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
  • Кафедра:  технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры
  • Магистерская программа:  Нанотехнологии и наносистемы

«Нанотехнологии и микросистемная техника» – новые направление в микро- и наноэлектронике.

    Магистры по этому направлению получают фундаментальную подготов-ку в области микро - и нанотехнологий и микросистемной техники. Кроме того они приобретают опыт научно – иссле-довательской и учебно - педагогической работы. В процессе выполнения диссер-тационной работы магистры по направлению 28.04.01 получают также опыт практической работы на современном технологическом и научно – исследовательском оборудовании мирового уровня: на многофункцио-нальном сверхвысоковакуумном нано-технологическом комплексе НАНОФАБ 100, на сканирующей зондовой нано-лаборатории Ntegra Vita, на установке со сфокусированным ионным пучком и электронной колонной Nova NanoLab 600. В научно – исследовательской работе они также используют специализированный учебный растровый электронный микроскоп Phenom, сканирующий зондовый микроскоп SolverP47 и комплекс специализированных учебных сканирующих зондовых микроскопов NanoEducator.

    На факультете Электроники и приборостроения ЮФУ (ФЭП ЮФУ) создано опытное производство с использованием новейших микро- и нанотехнологий, для чего на площадях кафедры размещены два специализированных чистых помещения (Гермозоны) и научно-образовательный центр «Нанотехнологии», оснащённые современным исследовательским и технологическим оборудованием по микро- и нано-технологиям.

    Ближайшее будущее радиоэлектроники будет определяться совместным использованием возможностей передовых микро- и нанотехнологий. В нашем Вузе на кафедре ТМ и НА сформировалась научная школа по микро- и  нанотехнологиям, признанная как в России, так и за рубежом. По этому направление на кафедре делают диссертационные работы 12 аспирантов.

О.А. Агеев
Заведующий кафедрой технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры,
д.т.н., профессор
Тел. (8634) 37-16-11
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru